高压电器

2019, v.55;No.362(05) 29-34

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微间距气体放电的实验研究与分析
Experimental Study and Analysis of Gas Discharge with Micro-gap

董克亮;孙岩洲;刘绪光;

摘要(Abstract):

为了研究微间距气体放电特性机理,在大气压环境下,采用了精密距离控制仪器进行电极间距为1~100μm的气体放电实验,得出了电极间距在1~100μm范围内的击穿电压,绘制了击穿电压曲线并讨论分析了1~5μm间距下击穿电压背离巴申曲线的原因。运用Fowler-Nordheim理论验证了在电极间距小于5μm时,气体放电过程由场致电子发射主导,并通过分析1~5μm间距内场强,进一步说明场致发射在此起主导作用。电极间距在10~15μm范围内时出现火花放电现象,分析认为该间距下的放电为电子崩引发的微间隙火花放电。电极间距在15~100μm范围内时击穿电压随着电极间距的增大而逐渐增大,击穿电压曲线与巴申曲线变化趋势相同,可以用汤逊机理解释。

关键词(KeyWords): 微间隙;气体放电;击穿电压;Paschen曲线;场致发射

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然科学基金资助项目(U1204506,11405044)~~

作者(Author): 董克亮;孙岩洲;刘绪光;

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参考文献(References):

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